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发明名称 COATING FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101069494(B1) 申请公布日期 2011.09.30
申请号 KR20050028560 申请日期 2005.04.06
申请人 发明人
分类号 B05C5/02;B05C5/00;B05C11/10;H01L21/027 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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