| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Scan- Einrichtung mit zwei Scan-Spiegeln und mit optischen Elementen zur Abbildung beider Scan-Spiegel aufeinander über eine Zwischenabbildung. Es ist eine Ansteuereinheit zur Speisung von mit den Scan- Spiegeln (1, 2) gekoppelten Antrieben mit Anregungsspannungen oder Anregungsströmen vorhanden, um für beide Scan- Spiegel (1, 2) Ablenkwinkel im Bereich von Null bis zum maximal möglichen Ablenkwinkel zu veranlassen, wobei mindestens einer der Scan-Spiegel (1, 2) zum biaxialen Scannen ausgebildet ist, und die Ansteuereinheit zur Variation der Ansteuerung beider Scan-Spiegel (1, 2) in Bezug auf biaxiale oder uniaxiale Ablenkung des Strahlenbündels (3) bei wahlweise quasistatischer oder resonanter Betriebsweise ausgebildet ist. Vorzugsweise ist mindestens einer der beiden Scan-Spiegel (1, 2) als MEMS-Baugruppe ausgebildet.</p> |
