检测晶圆表面缺陷及微粒之光偏振量测装置及方法

摘要

一种光偏振量测装置及其方法，系用于检测晶圆表面缺陷及微粒，其装置包含有一光源偏振装置、一挟持装置及一光接受装置。该光源偏振装置系以若干光学调控元件组合将雷射光源进行偏振化，形成一偏振光，射击至晶圆，该挟持装置系可挟持晶圆进行双轴向或三轴向移动及多角度旋转，使晶圆达至设定方位接受偏振光射击产生表面散射光，该光接受装置系以若干光学元件组合撷取晶圆表面散射光，进而分析晶圆表面是否有缺陷或微粒及其大小。