测量物体表面曲率之垂直反射式叠纹量测架构

摘要

一种测量物体表面曲率之垂直反射式叠纹量测架构，其包含有：一光源装置产生一光源，经一光束准直器形成一准直扩束光；此准直扩束光穿透一第一振幅型光栅，再经一分光器将此准直扩束光垂直反射至一待测物体表面，并形成一自成像；该自成像再经待测物体表面反射，成像于一第二振幅型光栅上，构成一叠纹影像；一量测装置，系用以侦测该叠纹影像，并运算该叠纹影像之倾角以量测出该待测物体之表面曲率。