发明名称 奈米碳管生长装置
摘要 本发明涉及一种奈米碳管生长装置。该奈米碳管生长装置包括一镭射照射装置及一工作台;其中,上述的奈米碳管生长装置进一步包括一观测装置和一光照明装置。该观测装置包括一观测筒、一设置于观测筒顶端的观测窗、一呈45°设置于观测筒内的第一半反射半透镜及一呈45°设置于观测桶内的第二半反射半透镜。该光照明装置、镭射照射装置垂直观测装置设置,第一半反射半透镜与镭射照射装置对应设置,第二半反射半透镜与光照明装置对应设置。工作台设置于观测装置中的观测筒底部且与观测筒底部间隔一定距离设置,观测装置、镭射照射装置与光照明装置三者系光学共轭的。
申请公布号 TWI359205 申请公布日期 2012.03.01
申请号 TW096135526 申请日期 2007.09.21
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 罗春香;姜开利;范守善
分类号 C23C16/26;C01B31/02 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号