晶圆寻边定位装置及蚀刻机台

摘要

一种晶圆寻边定位装置，用以对具有平口的晶圆进行寻边定位，包括旋转台、夹具、光源及光侦测器。旋转台在其承载平面上具有第一中心点。当晶圆放置于旋转台上时，夹具用以夹住晶圆，以使得晶圆的第二中心点对准第一中心点。光源发射出光束，光束与承载平面具有接触点，其中第一中心点与接触点之间的距离等于第二中心点与平口之间的最短距离。光侦测器用以侦测光束。