涂布装置及涂布方法

摘要

本发明的涂布装置，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、及具有在藉由该基板搬运部搬运基板的同时对上述基板涂布液状体的喷嘴的涂布部，在上述涂布部，设置有：对于上述喷嘴分别压送上述液状体的复数的泵浦。