电子枪及电子束曝光装置

摘要

本发明目的在于提供一种提高亮度之电子枪及藉使用该电子枪，提高生产量之电子束曝光装置。本发明之电子枪系由六硼化镧(LaB6)或六硼化铈(CeB6)形成之电子源、抑制电极及加速电极构成者，前述电子源之前端部配置于前述抑制电极与前述加速电极间，且前述电子源具有电子放射区域及电子放射限制区域，而前述电子放射限制区域系前述电子源前端部之电子放射面以外之该电子源侧面，且被碳包覆。前述电子源之前端部可由直径为10μm~100μm之圆柱形状形成，且前述电子源之前端部可从前述电极上面突出2.5mm以上，并且电子源前端与加速电极之距离配置为5mm以下。