| 摘要 |
可以简单构造保持处理容器之盖体，防止处理空间之环境泄漏至处理容器之外部。;形成在处理容器30之内部之处理空间83之外侧设置低压空间84。再者，具备密封处理容器本体80和盖体81之间，自处理空间83隔绝低压空间84之第一密封部101，和在比第一密封部101更外侧自处理容器30之外部隔断低压空间84之第二密封部102。在如此之构成中，藉由降低在第一密封部101和第二密封部102中执行密封之正常密封状态中之低压空间84之内压，成为在第二密封部102中执行密封之状态下，于第一密封部101产生泄漏之内侧泄漏状态之时，使处理空间83之内压对处理容器30之外部压力成为等压以下。 |
