电化学处理机

摘要

一种用来制作多孔矽或是处理其他基质的处理机，其具有第一腔体组合与第二腔体组合。第一以及第二腔体组合包含第一封件与第二封件分别将晶圆与第一、第二电极密封。在处理机中，第一与(或)第二封件可移至与移开晶圆处，能在晶圆载入/载出位置以及晶圆的制程位置间移动。第一电极随该第一封件移动，而第二电极随该第二封件移动。一光源将光照在晶圆的第一表面上。处理机可自水平方位(于该处载入与载出晶圆)轴向转动至垂直方位(于该处处理晶圆)。