| 摘要 |
对两束正交偏振光束在自一基板绕射时进行同时量测以确定该基板之性质。经由两个非偏振分光器，一非偏振分光器相对于另一非偏振分光器旋转90°，传递具有在正交方向上偏振之辐射之线性偏振光源。接着，组合光束在向回穿过一非偏振分光器之前自一基板绕射，且在由一CCD照相机量测之前穿过一移相器及一Wollaston棱镜。以此方式，可藉此量测该两个偏振光束之多个相位步进之相位及强度，且可确定该等光束之偏振状态。若将该移相器调为零(亦即，不具有相移)，则该基板之格栅使其参数藉由同一侦测器系统同时藉由TE及TM偏振光而得以量测。 |
