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发明名称
摘要
申请公布号
JP4922540(B2)
申请公布日期
2012.04.25
申请号
JP20020529574
申请日期
2001.07.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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