真空器件的封接装置以及封接方法

摘要

一种真空器件的封接装置，其包括：一真空室；一前容置室与一后容置室分别通过第一闸门与第二闸门与该真空室两端相连通；一抽真空系统分别与该前容置室、后容置室以及真空室相连通；至少一运输装置，可于前容置室、真空室以及后容置室之间运动；其中，该真空器件的封接装置进一步包括：一装有复数个密封件的外置容器设置于所述真空室上方，该外置容器通过一输入管道与真空室相连通，所述输入管道上设有控制部件；一第一加热装置设置于输入管道与第二闸门之间的真空室内壁上。