| 摘要 |
本发明提供一种基板处理装置，其可缩短装置整体之基板搬运所需的时间。基板传送机器人12具有两根搬运臂13a、13b，分别保持1片待处理基板W，将两片待处理基板W自载具C同时搬运至基板交接部50。又，基板传送机器人12于两根搬运臂13a、13b分别保持1片已处理基板W，自基板交接部50同时接收两片已处理基板W，且同时搬运至载具C。藉由于基板交接部50上设置3处送出载置部SPASS1~SPASS3及3处传回载置部RPASS1~RPASS3，可利用基板传送机器人12顺利执行两片同时搬运，而可缩短基板处理装置1整体之基板搬运所需之时间。 |
