蚀刻组成物

摘要

本发明系有关一种蚀刻组成物，其系用以于薄膜电晶体液晶显示装置透明导电膜(ITO膜)之选择性蚀刻者，特别是关于一种薄膜电晶体液晶显示装置之蚀刻组成物，其系包含有盐酸、醋酸、添加剂以及超纯水，且其经时变化少，对其它金属配线的影响最小而可稳定地进行蚀刻，并且具有快速的蚀刻速度，可减少侧边蚀刻者。