| 摘要 |
本发明的目的系得到一种光阻调制时之溶解性、光阻安定性及安全性优良的光阻组成物。;本发明之解决手段系一种光阻组成物，其含有光阻成分和有机溶剂，该有机溶剂系选自于(a1)烷基之碳数为2以上之一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一，二或三丙二醇芳基醚、(a4)1,3－丁二醇或是甘油之烷基醚、(b1)烷基之碳数为3以上之一丙二醇烷基醚乙酸酯、(b2)二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、(b3)一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、(b4)1,3－丁二醇或是甘油之烷基醚乙酸酯、以及(b5)C3－4链烷多元醇乙酸酯之组成群中的至少1种。 |
