用于抑制工件之热导运动的设备及方法

摘要

一种用于抑制工件之热导运动的设备及方法。一设备系包括有一个被配置用于一工件之热导运动的工件加热用系统，并且更包括有一个阻尼元件，该阻尼元件系与该工件相分隔，并且被配置以施加一阻尼作用力来阻尼工件的运动。阻尼元件系可以与工件之一静止位置分隔一个距离，此距离系为足够地小而使得介于阻尼元件与工件间之气体压力能够对抗工件之运动。此距离较佳系为可调整的。