| 摘要 |
<p>저온의 제1원 냉매를 통하여 척(120)으로 공급되는 제2원 냉매를 냉각시켜 챔버(110)에 구비된 척(120)을 저온으로 변환시키기 위하여 압축기(131), 응축기(132), 팽창밸브(133) 및 열교환기(134)를 포함하는 냉각시스템(130)과; 척(120)을 고온으로 변환시키기 위하여 척(120)에 일체로 형성된 가열기(141)를 통해 척(120)을 가열시키는 가열시스템을 포함하며, 상기 냉각시스템(130)은 압축기(131)와 응축기(132) 사이에 구비되는 기액분리기(135)에 의해 기체와 액체로 분리된 제1원 냉매 중 액상의 고온 상태를 가지는 제1원 냉매를 열교환기(134)의 제2원 냉매가 저장된 탱크(134a) 외부로 유도하여 상기 탱크(134a) 내부의 제2원 냉매와 열교환되게 한 후 다시 압축기(131)로 유도하는 유도관(135a)을 포함하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템이 제공된다.</p> |
