| 摘要 |
<p>본 발명은 기판을 적재하고 이송가능한 서셉터를 가지는 기판안치수단와 이를 포함한 기판처리장치 및 기판처리모듈에 관한 것으로, 기판안치수단은, 반응공간에 위치한 디스크; 기판이 안치되어 상기 디스크 상에 위치하며, 이송수단에 의해 상기 반응공간으로 반입 또는 상기 반응공간으로부터 반출 가능한 다수의 서셉터; 상기 다수의 서셉터의 하부에 위치하고, 상기 다수의 서셉터의 각각을 상기 디스크로 분리하기 위한 분리수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
