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发明名称 POLISHING AGENT FOR COPPER POLISHING AND POLISHING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20120059592(A) 申请公布日期 2012.06.08
申请号 KR20127008156 申请日期 2010.12.10
申请人 HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. 发明人 ONO HIROSHI;SHINODA TAKASHI;OKADA YUUHEI
分类号 H01L21/304;B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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