一种硅片取放装置

摘要

本发明涉及一种取放硅片装置。吸盘固定在连接座上，吸盘上开设有多个气孔，连接座内设有凹腔；下端盖固定在连接座上，下端盖中心设有下通气孔，下通气孔与凹腔连通；阀体固定在下端盖上，阀体内设有环形进气腔，阀体中心开设有中间通气孔，环形进气腔与中间通气孔之间通过环形壁相隔，环形壁底部与下端盖顶部之间留有进气缝隙；上端盖固定在阀体上，上端盖下部的中心开设有上通气孔，上端盖上部开设有至少两个斜排气孔；第一接头连接在阀体一侧，第一接头与阀体内的环形进气腔连通；第二接头连接在阀体另一侧，第二接头通过第二进气通道与连接座内的凹腔连通。本发明结构巧妙、合理，在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置。

主权项

一种硅片取放装置，其特征在于：包括吸盘（1）、连接座（2）、下端盖（3）、阀体（4）、上端盖（5）、第一接头（9）和第二接头（10）；所述吸盘（1）固定在连接座（2）上，吸盘（1）上开设有多个气孔（1a），连接座（2）内设有凹腔（2a）；所述下端盖（3）固定在连接座（2）上，下端盖（3）中心设有下通气孔（3a），下通气孔（3a）与连接座（2）内的凹腔（2a）连通；所述阀体（4）固定在下端盖（3）上，阀体（4）内设有环形进气腔（4b），阀体（4）中心开设有与下通气孔（3a）连通的中间通气孔（4a），环形进气腔（4b）与中间通气孔（4a）之间通过环形壁（4e）相隔，环形壁（4e）底部与下端盖（3）顶部之间留有进气缝隙（4c）；所述上端盖（5）固定在阀体（4）上，上端盖（5）下部的中心开设有与中间通气孔（4a）连通的上通气孔（5a），上端盖（5）上部开设有至少两个斜排气孔（5b），斜排气孔（5b）内端与上通气孔（5a）连通，斜排气孔（5b）外端位于上端盖（5）侧壁上，斜排气孔（5b）的走向是由内向外、由下向上；所述第一接头（9）连接在阀体（4）一侧，第一接头（9）与阀体（4）内的环形进气腔（4b）连通；所述第二接头（10）连接在阀体（4）另一侧，第二接头（10）通过第二进气通道与连接座（2）内的凹腔（2a）连通。