| 发明名称 |
APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE BIREFRINGENCE, APPAREIL DE SUPPRESSION DE DEFORMATION ET POLARIMETRE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2841648(B1) |
申请公布日期 |
2012.08.03 |
| 申请号 |
FR20030007976 |
申请日期 |
2003.07.01 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KISHIKAWA YASUHIRO;TAKEUCHI SEIJI |
| 分类号 |
G01J4/04;G01N21/23;G03F7/20 |
主分类号 |
G01J4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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