湿度回授控制之流量校正系统

摘要

本创作之湿度回授控制之流量校正系统包含集气装置、湿度感测器、主控电脑设备及质量流量控制器，湿度感测器感测集气装置由晶圆载具抽取之气体湿度，主控电脑设备中以校正回圈判定模组藉由预定湿度曲线与量测湿度曲线的湿度差异调整待校正流量控制讯号，且作为流量讯号控制模组下一轮校正回圈之待校正流量控制讯号，程式控制器连接流量讯号控制模组并输出目标流量讯号，以使质量流量控制器控制调节填充至晶圆载具之气体流量值，而可使同一型号下每一晶圆载具的湿度藉由完成校正之流量控制讯号在相同时间后以预定湿度曲线下降，达成湿度一致的需求。

主权项

一种湿度回授控制之流量校正系统，用于调整一待校正流量控制讯号，以控制填充至一晶圆载具内之气体流量值，使该晶圆载具内之气体湿度于一特定时间内以一预定湿度曲线下降，该流量校正系统包含：一集气装置，系装设于该晶圆载具的气体输出管路上，用以抽取该晶圆载具内之气体；一湿度感测器，系设置于该晶圆载具与该集气装置之间，以感测自该晶圆载具排出之气体的气体湿度并产生一实际湿度值；一主控电脑设备，系与该湿度感测器电性连接，用于产生该待校正流量控制讯号，该待校正流量控制讯号系包含该特定时间内之每一时间点的流量控制参数，该主控电脑设备包含：一流量讯号控制模组，系用于依据该待校正流量控制讯号，在该特定时间内的每一时间点输出对应之流量控制参数；一校正回圈判定模组，系连接该流量讯号控制模组及该湿度感测器，用于接收该特定时间内之每一时间点的实际湿度值以产生一量测湿度曲线，并根据该预定湿度曲线与该量测湿度曲线于每一时间点之湿度差异调整该待校正流量控制讯号之对应时间点的流量控制参数，以作为该流量讯号控制模组下一轮之待校正流量控制讯号的流量控制参数，直到同一轮下，该预定湿度曲线与该量测湿度曲线之每一时间点之湿度的差异值皆未超过一门槛值时判定此时之待校正流量控制讯号已完成校正；及一程式控制器，系电性连接该流量讯号控制模组，用于根据所接收的流量控制参数输出一目标流量讯号；及一质量流量控制器，系装设于该晶圆载具的气体输入管路上以及与该程式控制器电性连接，该质量流量控制器用于根据所接收之该目标流量讯号控制调节该气体输入管路内气体的流量。如申请专利范围第1项所述之流量校正系统，其中该校正回圈判定模组更用于根据该预定湿度曲线与该量测湿度曲线于每一时间点之湿度的平均值调整该待校正流量控制讯号之对应时间点的流量控制参数。如申请专利范围第2项所述之流量校正系统，其中该校正回圈判定模组更用于将该门槛值设定为零。如申请专利范围第1项至第3项中任一项所述之流量校正系统，其中该流量讯号控制模组更用于将其他型号之晶圆载具的流量控制讯号作为该待校正流量控制讯号，其中，每一轮之量测湿度曲线的取得系取自同一型号下之不同的晶圆载具。如申请专利范围第4项所述之流量校正系统，其中该预定湿度曲线系为一直线。