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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101204603(B1) 申请公布日期 2012.11.23
申请号 KR20100052818 申请日期 2010.06.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;G03F1/00;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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