MOVING BODY DRIVING METHOD AND APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD AND APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD,申请号HK20100104627-传众专利搜索

发明名称	MOVING BODY DRIVING METHOD AND APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD AND APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号	HK1136912(A1)	申请公布日期	2012.11.23
申请号	HK20100104627	申请日期	2010.05.12
申请人	NIKON CORPORATION	发明人	SHIBAZAKI, YUICHI
分类号	G01B;G03F;H01L	主分类号	G01B
代理机构		代理人
主权项
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