| 摘要 |
<p>본 발명은 종축을 함께 공유하는 외부통(51)과 내부통(53)으로 이루어지되 외부통(51)과 내부통(53) 사이에 유체가 흐르도록 비어 있는 이중통 구조를 하고, 상기 종축을 회전축(54)으로 하여 이루어지는 외부통(51)과 내부통(53)의 상대적 회전운동을 통하여 외부통(51)과 내부통(53) 사이의 빈 공간에서 유체가 와류형태로 흐르도록 하여 상기 유체의 상태변화에 도움을 주는 와류 반응장치에 관한 것으로서, 구체적으로 내부통(53)의 외면 및 외부통(51)의 내면 중의 어느 한 곳에 스크류 형상으로 돌출되는 나선형 돌출 스크류(64)가 설치되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 나선형 돌출 스크류(64)에 의해 형성되는 스크류형 와류 및 나선형 돌출 스크류의 날에 의해서 결정이 유체통로벽에 심하게 눌러 달라붙는 것을 방지할 수 있으므로 수율 측면에서 바람직하고, 특히 용융결정화 공정에서는 유체통로가 막히는 것이 방지되어 연속적인 용융결정화 공정을 진행시킬 수 있게 된다. 그리고 내부통과 외부통의 형태 변화를 통해서 다양한 공정 레시피(recipe)에 적용할 수 있다.</p> |
