发明名称 LAYERED PHOTOSENSITIVE-RESIN PRODUCT
摘要 <p>감광성 수지층의 두께가 3 ~ 15 ㎛ 로 얇은 경우라도, 직접 묘화 노광으로 노광한 경우에도 텐트성이 양호하고, 또한 현상시의 응집물이 유상이 아닌 감광성 수지 적층체를 제공하는 것. 적어도 지지층과 감광성 수지층을 적층시켜 이루어지는 감광성 수지 적층체로서, 그 감광성 수지층은 감광성 수지 조성물로 이루어지고, 그 감광성 수지 조성물이 적어도 (a) 알칼리 가용성 수지 25 ~ 64 질량%, (b) 광중합 가능한 불포화 2 중 결합을 갖는 화합물, (c) 광중합 개시제 0.1 ~ 20 질량% 를 함유하고, 추가로 이하의 (ⅰ), (ⅱ) 및 (ⅲ) 을 만족시키는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체를 사용한다. (ⅰ) 특정의 광중합 가능한 불포화 화합물을 감광성 수지 조성물의 전체량에 대하여 30 ~ 55 질량% 함유한다. (ⅱ) 상기 (a) 알칼리 가용성 수지는 중량 평균 분자량이 70,000 ~ 220,000, 산 당량이 100 ~ 600 이다. (ⅲ) 감광성 수지층의 두께가 3 ~ 15 ㎛ 이다.</p>
申请公布号 KR101207242(B1) 申请公布日期 2012.12.03
申请号 KR20107010522 申请日期 2008.12.24
申请人 发明人
分类号 G03F7/027;G03F7/031;H01L21/027;H05K3/06 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
地址