| 摘要 |
<p>측정시간을 단축할 수 있는 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법이 개시된다. 기판 검사장치는 기판을 지지하는 스테이지, 광원 및 격자소자를 포함하고 상기 격자소자를 이송하여 격자무늬조명을 상기 기판에 조사하는 투영부, 및 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 오픈하여 상기 기판에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 수신하는 카메라를 포함한다. 이때, 격자소자는 적어도 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 오픈되는 구간 동안에 이송된다. 이와 같이, 격자소자의 이송을 실질적으로 이미지 촬영이 진행되지 않는 시간대에 맞춰 수행함으로써, 측정품질을 유지함과 동시에 측정 시간을 단축시킬 수 있다.</p> |
