有机金属化合物供给容器

摘要

本发明系提供一种可得具一定再现性之有机金属化合物之蒸发量，使载气流量变多、有机金属化合物之气化量变多时，可减少所填充有机金属化合物使用率下降之有机金属化合物供给容器。;其系于容器上部配设载气导入管之前端部，于底部配设载气导出管之前端部，且于该容器内填充已被覆于常温下为固体之有机金属化合物于对有机金属化合物为惰性的载体上之载体担载有机金属化合物所成之有机金属化合物供给容器中，使载气导入管前端部对于水平方向往斜下方倾斜20~50°进行配设为其特征者。

主权项

一种有机金属化合物供给容器，其系于容器上部配设载气导入管之前端部，于底部配设载气导出管之前端部，且于该容器内填充已被覆常温下为固体之有机金属化合物于对有机金属化合物为惰性之载体上的载体担载有机金属化合物所成之有机金属化合物供给容器中，其特征为使载气导入管之前端部对于水平方向往斜下方倾斜20~50°所配设者。如申请专利范围第1项之有机金属化合物供给容器，其中，容器为圆筒状，而该载气导入管前端部对于水平方向往斜下方倾斜20~50°之同时，由远离容器中心轴之位置对容器侧壁倾斜所配设者。如申请专利范围第1项或第2项之有机金属化合物供给容器，其中，容器底部与载气导出管前端部之间隔为2~15mm。如申请专利范围第1项至第3项中任一项之有机金属化合物供给容器，其中，有机金属化合物为三甲基铟。