太阳能电池之选择性电极制作方法及使用于选择性电极制作之遮罩结构

摘要

一种太阳能电池之选择性电极制作方法，其步骤包括如下：提供一基底，并于该基底上形成复数个离子掺杂遮罩层；对该基底进行离子掺杂并以该复数个离子掺杂遮罩层当作遮罩，进而形成复数个第一离子掺杂区域与复数个第二离子掺杂区域；移除该复数个离子掺杂遮罩层并制作电极于该复数个第一离子掺杂区域上；俾藉上述之方法，将太阳能电池的电极与受光面分别形成于不同离子掺杂浓度的区域，以提升太阳能电池的转换效率。本发明另提出一种使用于选择性电极制作之遮罩结构。