| 摘要 |
<p>On décrit un dispositif de type Microsystème et/ou Nano-système comportant : - un premier substrat (100), comportant au moins une électrode (102), dite électrode inférieure, et au moins une couche diélectrique (103), - un substrat intermédiaire (200'), s'étendant suivant un plan, dit plan principal du dispositif, comportant une partie mobile (210), - un substrat supérieur (300), assemblé au substrat intermédiaire (200'), ladite partie mobile pouvant être mise en mouvement entre l'électrode inférieure et le substrat supérieur.</p> |
