| 摘要 |
一种半导体设备及其中的阀室结构，其中的阀室结构包含有阀体、一对阀门、连动杆、驱动装置及复数个肘节机构。阀体具有一对开口，阀体内部具有容置空间及至少两对导引槽。各阀门可分别盖合于阀体的开口，阀门的至少一端设有嵌合装置，活动地嵌合于导引槽。驱动装置具有驱动杆，延伸入阀体的容置空间内，驱动杆与连动杆连接。复数个肘节机构设置于容置空间内且位于两阀门之间，各肘节机构包含有第一作动杆与至少一对耦杆，第一作动杆连接至连动杆，一对耦杆系对称于第一作动杆设置，耦杆的一端枢接至第一作动杆，耦杆的另一端枢接至阀门。 |
