使用压力式流量控制装置之流体的非连续式流量切换控制方法

摘要

以切换成第2流量区与第1流量区来进行流体的流量控制之使用压力式流量控制装置之流量控制方法中，扩大在特定的误差范围内能够控制的流量范围，并更为缩小可控制的最小流量。;本发明为使用流量范围可变型压力式流量控制装置之流体的流量控制方法，系将压力式流量控制装置之控制阀的下游侧与流体供应用管路之间之流体通路，构成为至少2个以上的并联状流体通路，并且将流体流量特性为不同的孔口分别中介存在于通往前述各并联状流体通路，在第1流量区之流体的流量控制时，使前述第1流量区的流体往一方的孔口流通，且在第2流量区之流体的流量控制时，使前述第2流量区的流体往至少另一方的孔口流通，其系以使前述小流量的第1流量区之流体的最大控制流量较前述大流量的第2流量区之最大控制流量的10%还小之方式来选择前述各孔口的流量特性，将在特定的流量控制误差内能够进行流量控制之第1流量区的最小流量予以降低。