用于除去光阻剂之动态多用途组成物及其使用方法

摘要

本发明提供一种用来从基板上除去一、二或更多层光阻层的改良无水(dry)剥除剂溶液。该剥除剂溶液包含二甲亚碸、四级氢氧化铵及烷醇胺、可选择的辅助溶剂及少于约3重量%的水，及/或乾度系数为至少约1。本发明额外提供一种该改良无水剥除溶液之制备及使用方法。