藉酸性溶液进行矽电极组件表面去污作用

摘要

本发明系关于清洗电极组件之矽表面的方法，其系藉使用包含氢氟酸、硝酸、醋酸，及平衡去离子水之酸性溶液自该等矽表面有效地移除污染物且不会使该等矽表面褪色。