| 摘要 |
本发明乃揭示于电浆处理系统中，一种最佳化基板蚀刻之方法。本方法包含选择含有第一处理变数之第一电浆处理配方，其中藉由第一数量改变第一处理变数乃最佳化第一基板蚀刻特性，并使第二基板蚀刻特性恶化。本方法亦包含选择含有第二处理变数之第二电浆处理配方，其中藉由第二数量改变第二处理变数乃使第一基板蚀刻特性恶化，并最佳化第二基板蚀刻特性。本方法进一步包含放置基板于电浆处理室中之吸盘上；并于电浆处理室内撞击电浆。本方法亦包含于第一电浆配方与第二电浆配方间转换，其中于转换完成后，第一基板蚀刻特性与第二基板蚀刻特性实质上为最佳化。 |
