避免一质量流量控制器涉及一质量流量控制器阵列中之干扰的方法

摘要

本发明揭露一种结合手动/气动之关闭阀。该阀包含一壳体(13)；一阀室(17)其设置在该壳体内且具有一流体入口(19)及一流体出口(21)；一膜片(23)；一阀座(25)；一气动驱动式引动器(29)其被设计成可将该膜片从一第一位置移动至一第二位置，其中该膜片及该阀座在该第一位置时可在该流体入口与流体出口之间形成一密封，及该流体入口与流体出口在该第二位置时系彼此开放相联通的；及一把手(31)其被设计成可藉由该引动器手动地将该膜片从该第二位置移动至第一位置，这无关于该气动控制讯号。该阀藉由将一手动阀与一气动阀结合成一单一元件而让处理流体控制组件的长度及流体面板的大小能够被缩小。