一种矩阵式小器件的外观检测方法及装置

摘要

本发明涉及一种矩阵式小器件的外观检测方法及装置，其装置包括运动平台和工业相机，以及由F-Theta透镜、带反射镜片的振镜电机和聚焦镜组成的放大扫描组件；F-Theta透镜固定安装在运动平台的正上方；振镜电机、聚焦镜和工业相机设置在一个水平面上，按照从前到后的顺序依次排列；振镜电机固定安装在F-Theta透镜的上方，其反射镜片设于F-Theta透镜中心线的正上方并与水平面间呈可变换角度的倾角；反射镜片的中心、聚焦镜的中心与工业相机的中心在一条直线上。依次通过提取图像、放大摄像及检测工序实现对矩阵式小器件中每个元件的检测。检测速度快，准确率高，装置成本低，非常适合工业应用。

主权项

一种矩阵式小器件的外观检测方法，通过透镜扫描放大矩阵式小器件的图像后再进行拍摄检测，其特征在于：提取图像工序，用F‑Theta透镜提取并一次放大待检测工件的图像；放大摄像工序，通过振镜电机的反射镜片将待检测工件的图像传输到聚焦镜内进行二次放大后，再传送到工业相机的传感器中进行摄像；检测工序，对比拍摄的工件图像进行规定的外观检测。