| 发明名称 |
感光性树脂组成物、矽土类覆膜的形成方法以及具备该矽土类覆膜的装置与构件 |
| 摘要 |
一种感光性树脂组成物，其含有(a)成分：将包含以下述通式(1)所表示的化合物的第一矽烷化合物进行水解缩合所获得的第一矽氧烷树脂；(b)成分：溶解上述(a)成分的溶剂；以及(c)成分：酚类或醇类与萘醌二叠氮基磺酸的酯。;(1) |
| 申请公布号 |
TWI392971 |
申请公布日期 |
2013.04.11 |
| 申请号 |
TW098109389 |
申请日期 |
2009.03.23 |
| 申请人 |
日立化成股份有限公司 日本 |
发明人 |
青木阳介;阿部浩一;粕谷圭 |
| 分类号 |
G03F7/075;G03F7/022;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
