溅射装置

摘要

本发明披露了一种溅射装置。该溅射装置可以包含：室；阴极，其连接于室内的一面；抽气口，其形成于室内的一面；以及护罩，其连接于阴极和抽气口之间的室内的一面，并且设置流动孔。本发明的溅射装置可以给与抽气口相邻的护罩的周围提供畅通的气体的流动环境，使得可以防止质点的发生，并且室的排气得以畅通。