发明名称 相邻晶片损伤侦测系统
摘要 一种包含一测试器的系统,该测试器配置用于测量来自相邻晶片之一第一晶片的一第一电流及来自相邻晶片之一第二晶片的一第二电流。该测试器被配置用于将该第一电流与该第二电流进行比较以侦测该相邻晶片中的损害。
申请公布号 TWI392881 申请公布日期 2013.04.11
申请号 TW097130158 申请日期 2008.08.07
申请人 英飞凌科技股份有限公司 德国 发明人 马丁 克尔贝尔
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项
地址 德国