| 摘要 |
本发明之周期性缺陷检测装置具备：感测器4；小区域选择手段(72、74)，使区域长度短于区域之数个小区域以于周期性缺陷之排列方向相邻之距离间隔均相等的方式隔开来决定位置，自感测器输出而选择与该等数个小区域之位置对应的信号；评价指数计算手段76，于由小区域选择手段所选择之数个信号间计算出信号图案彼此之类似性之评价指数；设定值变更手段(73、75)，变更小区域之位置与距离间隔来重复进行小区域选择手段与评价指数计算手段之运算处理；及周期判定手段77，于评价指数高于预设值之情形时，判定距离间隔为周期。周期性缺陷检测方法具有信号输入步骤、小区域选择步骤、评价指数计算步骤、设定值变更步骤、及周期判定步骤。 |
