等离子反应器之静电夹头装置

摘要

一种等离子反应器中的静电夹头装置，系设有一静电夹头、一静电夹头盖环及一阴极装置盖环，该静电夹头设有一主体部分和一突起部分，而该主体部分系具有一第一直径之圆形，且该突起部分整个从该主体部分中形成，并从该主体部分中伸出，其为一具有第二直径之圆形，其中第二直径小于第一直径，该静电夹头盖环沿突起部分的外圆周环绕地设置，该阴极装置盖环沿静电夹头盖环之外圆周和该主体部分之外圆周环绕地设置在该阴极装置之上部。