低温薄膜电晶体制程、装置特性、和装置稳定性改进

摘要

一种用以形成一薄膜电晶体的方法和设备。一闸极介电层形成，它可能是双层的，第一层沉积以一低速率沉积，而第二层则以一高速率沉积。在一些实施例中，该第一介电层是一富矽氮化矽层。一主动层形成，它亦可能是双层的，第一主动层以一低速率沉积，而第二主动层则以一高速率沉积。本文所述之薄膜电晶体具有优良的迁移率和压力下的稳定度。