位置测量方法、位置控制方法、测量方法、装载方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法

摘要

能管理位置测量用标记未存在之移动体之位置。;将以可拆装方式搭载既定形状之板件50之移动体WST的位置，以供界定其移动座标系统之测量装置(18等)来测量，并以对准系统ALG检测出板件50之一部分，根据其检测结果与对应之该测量装置之测量结果，来取得板件50外周边缘之位置资讯。据此，即使于该移动体WST上位置测量用之标记(基准标记)等未存在，仍可根据板件外周边缘之位置资讯，在以该测量装置所界定之移动座标系统上管理板件的位置(亦即移动体之位置)。