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发明名称
可强化刚性之卡匣支撑杆结构
摘要
一种可强化刚性之卡匣支撑杆结构,系供装设于一卡匣内,用以支撑玻璃基板,系具有一本体,该本体一端设一供作固定之固定端,本体另一端设为一活动端,其中于本体表面由固定端起朝远离固定端方向设有至少一层强化层,如于本体表面设置数层构成阶梯状之强化层,俾藉由强化层来强化本体之刚性,使本体承载玻璃基板时,可减少本体活动端之变形下垂量,增加机器手臂于进出该卡匣布放玻璃基板时之空间,提升卡匣运作时之安全性。
申请公布号
TWM453960
申请公布日期
2013.05.21
申请号
TW101221525
申请日期
2012.11.07
申请人
三鼎材料科技股份有限公司 桃园县龙潭乡高原路367巷188号
发明人
黄鼎贵
分类号
H01L21/687
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
桃园县龙潭乡高原路367巷188号
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