晶圆承载组件

摘要

本创作系关于一种晶圆承载组件，该晶圆承载组件包括承载板、压板及多数固定元件，承载板具有凹陷区，凹陷区内开设有通孔，通孔的周缘有阶梯结构，并在通孔内具延伸块，延伸块成型有供晶圆置放的台阶，并在台阶设有供晶圆抵贴的定位面；压板成型多数浮凸部，在浮凸部有弹性体，晶圆夹掣在浮凸部和各台阶之间，其中之一弹性体夹掣在浮凸部和各延伸块之间，另一弹性体弹性夹掣在浮凸部和晶圆之间；各固定元件分别穿设承载板和压板而固接。藉此，可使晶圆获得良好的保护，而降低晶圆在制程中的损坏率。