| 发明名称 | 光刻机 | ||
| 摘要 | 1.外观设计产品的名称:光刻机。2.外观设计产品的用途:用于中小尺寸玻璃基板的光刻制造。3.外观设计的设计要点:产品的整体形状、图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。5.仰视图无设计要点，故省略。 | ||
| 申请公布号 | CN302441447S | 申请公布日期 | 2013.05.22 |
| 申请号 | CN201230530830.7 | 申请日期 | 2012.11.02 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 郭耸;徐程 |
| 分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||