| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 측정 장치는 측정 모듈 및 일단 및 타단이 개구된 통 형상으로 제작되어, 상기 일단이 상기 측정 모듈에 연결되고, 타단에 마련된 배출구를 통해 유체를 배출하는 퍼지 후드를 포함하고, 퍼지 후드는 외측벽, 외측벽의 내측에 위치하는 내측벽 및 상기 외측벽과 내측벽 사이의 이격 공간을 포함하고, 퍼지 후드의 내경은 길이 방향으로 변하며, 상기 내경이 상기 배출구를 향해 증가하도록 제작된다. 따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면 퍼지 후드 내에 유체 차단막을 형성할 수 있고, 유체의 유속을 향상시킬 수 있다. 여기서 유체 차단막은 외부의 오염 물질의 유입을 차단한다. 또한, 유체의 유속이 향상됨에 따라, 외부로 퍼지되는 유체의 퍼지 압이 향상되어, 오염 물질을 외부로 밀어내는 것이 용이해 진다.</p> |
