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<p>웰 전위 제어용 콘택을 가지는 NAND 플래시 메모리 소자에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 NAND 플래시 메모리 소자는 기판에서 제1 방향으로 연장되어 있고 제1 웰이 형성되어 있는 라인 형상의 복수의 활성 영역과, 복수의 활성 영역에 교차하도록 제1 웰 위에서 제2 방향으로 연장되어 있는 한 쌍의 더미 워드 라인을 포함한다. 한 쌍의 더미 워드 라인은 상호 소정 거리 만큼 이격되어 있는 제1 더미 워드 라인 및 제2 더미 워드 라인으로 이루어진다. 제1 더미 워드 라인 및 제2 더미 워드 라인에는 항상 0 V의 바이어스 전압이 인가되는 상태로 유지되어, 복수의 활성 영역 중 제1 더미 워드 라인 및 제2 더미 워드 라인 사이에 위치되는 부분은 그 활성 영역의 다른 부분과는 전기적으로 독립되어 있다. 상기 제1 더미 워드 라인과 제2 더미 워드 라인과의 사이에 위치되는 활성 영역에는 제1 웰에 웰 바이어스 전압을 인가하기 위한 바이어스 인가용 콘택이 형성되어 있다.</p> |
